国泰海通证券 建筑行业专题报告：洁净室内部各系统产业链及公司梳理
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关键图表
图1. 集成电路产业链涉及洁净室环节
图2. 表 3: HVAC 系统产业链各企业对比
图3. 表 4: 各企业 FFU 和过滤器技术指标对比
图4. 表 5: 高纯特气种类及在集成电路产线的应用环节
图5. 超纯水系统产业链
图6. 2025 年至纯科技收入结构（分行业）
图7. 2026H1 新莱应材各产品毛利率
图8. 表 8: Fab 厂房产业链公司盈利与估值
