招商证券 微导纳米 688147 ALD技术持续突破，半导体业务进入加速期

摘要

招商证券维持微导纳米（688147.SH）“增持”评级，当前股价 111.97 元、总市值 520 亿元，核心逻辑是公司由光伏 ALD 龙头加速向半导体综合薄膜沉积设备平台厂商转型。 2025 年公司营收 26.33 亿元（同比-2.47%），其中半导体设备收入 8.81 亿元（同比+169.12%）、占主营业务收入 33.49%，光伏设备收入 15.91 亿元（-30.52%）；受产品结构变化及新增产能折旧摊销影响，综合毛利率降至 32.69%（-7.30pcts），归母净利润 2.19 亿元（-3.23%），2026Q1 归母净利润 0.21 亿元（-75.01%）。 订单端持续向好，截至 2024 年末半导体在手订单 15.05 亿元（+65.91%），2025 年新签订单规模屡创新高。 行业层面，Fortune Business Insight 预测全球 ALD 设备市场规模由 2025 年 95.5 亿美元增至 2026 年 103.4 亿美元、2034 年达 207.9 亿美元（2026-2034 年 CAGR 9.1%），先进逻辑与存储结构升级叠加国内晶圆厂扩产打开需求空间。 公司 ALD 产品由 High-k 向金属化、批量式、空间型延伸，硬掩模 PECVD 已获量产批量订单，可转债募投项目达产后将新增 50 台套/年半导体薄膜沉积设备产能。 预计 2026-2028 年营收 29.68/38.54/48.74 亿元、归母净利润 3.69/5.13/6.94 亿元，对应 PE 140.8/101.3/74.9 倍，2026 年起半导体设备有望超过光伏设备成为第一大收入来源。

主要观点

• 维持“增持”评级，当前股价 111.97 元，总市值 52.0 十亿元，总股本 464 百万股，主要股东西藏万海盈持股 50.43%

• 2025 年营收 26.33 亿元（同比-2.47%），半导体设备收入 8.81 亿元（同比+169.12%），光伏设备收入 15.91 亿元（同比-30.52%），收入结构持续优化

• 盈利短期承压：2025 年综合毛利率 32.69%（同比-7.30pcts），归母净利润 2.19 亿元（-3.23%）；2026Q1 营收 4.82 亿元（-5.54%），归母净利润 0.21 亿元（-75.01%），半导体业务规模效应尚待释放

• 半导体在手订单高增：截至 2024 年末达 15.05 亿元（同比+65.91%）；在手订单由 2021 年初 0.25 亿元增至 2024 年初 6.47 亿元，2024 年 1-9 月产量 26 台套、销量 14 台套，另有 34 台套已发出待客户验收

• ALD 产品矩阵持续完善：iTomic HiK 已导入多个国产领先厂商产线，iTomic MeT 进入量产产线并持续获得批量订单，iTomic SPX 空间型 ALD 获重要客户订单进入产业化验证，可实现超高深宽比 200:1 纳米结构深孔内侧壁薄膜沉积

• CVD 延伸取得实质进展：iTronix MTP 是国内首批成功应用于产业链核心厂商量产线的硬掩模 PECVD 设备，2025 年获量产批量订单；iTronix LP 系列 2025 年实现多项关键工艺突破并获产业链核心客户重复订单

• 行业驱动：先进逻辑制程微缩与晶体管三维化提升 ALD 需求，ASMI 披露到 1.4nm 节点晶体管相关层预计占全部 ALD 层数约 60%，高于 2nm 节点的 50%

• 市场空间：全球 ALD 设备市场规模由 2025 年 95.5 亿美元增至 2026 年 103.4 亿美元，2034 年达 207.9 亿美元，2026-2034 年复合增长率 9.1%；半导体制造 2025 年占全球市场规模近 50%，竞争格局仍由海外厂商主导

• 国内扩产打开导入窗口：长江存储三期预计 2026 年内底投产、2027 年实现月产能 5 万片；长鑫存储预计 2027 年月产能从 32 万片扩至 42 万片；中芯国际 26Q2 折合 8 英寸月产能 109.7 万片；华虹 26Q2 总产能 50.8 万片/月

• 产能扩张聚焦半导体：2022 年 IPO 募投规划 40 台套/年；2025 年可转债“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”投资总额 6.7 亿元，建成后将新增 50 台套/年产能，技术路线由 ALD 拓展至 ALD+CVD

• 盈利预测与结构切换：预计 2026-2028 年营收 29.68/38.54/48.74 亿元（+13%/+30%/+26%），归母净利润 3.69/5.13/6.94 亿元（+68%/+39%/+35%）；半导体设备收入 2026-2028 年 15.86/25.37/34.25 亿元，2026 年起有望超过光伏设备成为第一大收入来源

• 股权与团队：实控人王燕清、倪亚兰、王磊通过三家持股平台合计控制公司 56.81% 股份；副董事长、首席技术官 LI WEI MIN 直接持股 8.23%，曾任职 ASM Microchemistry、Silecs 及 Picosun

论述逻辑

• 起点：光伏行业周期性调整压制公司整体收入与利润（2025 年光伏设备收入同比-30.52%，2026Q1 归母净利润同比-75.01%）→ 半导体设备成为增长引擎

• 半导体设备收入 8.81 亿元（+169.12%）叠加在手订单 15.05 亿元（+65.91%）→ 收入结构由光伏向半导体切换，但规模效应未释放导致半导体设备毛利率降至 18.53%（-9.15pcts）

• 行业需求端：逻辑/存储结构三维化提升 ALD 渗透率（1.4nm 节点晶体管相关层占 ALD 层数约 60%）＋长江存储、长鑫存储、中芯国际、华虹持续扩产 → 薄膜沉积设备迎来导入窗口

• 公司能力端：ALD 由 High-k 向金属化、批量式、空间型延伸＋CVD（硬掩模 PECVD 获量产批量订单）＋200:1 超高深宽比沉积技术 → 产品品类、工艺覆盖和客户单线价值量同步提升

• 产能支撑：可转债募投项目聚焦半导体、新增 50 台套/年 ALD+CVD 产能 → 为后续订单交付和收入确认提供支撑

• 结论：2026 年起半导体设备成为第一大收入来源、综合毛利率修复至 33%/34%/37% → 2026-2028 年归母净利润 3.69/5.13/6.94 亿元（对应 PE 140.8/101.3/74.9 倍）→ 维持“增持”评级

关键展望

• 半导体设备 2026 年起有望超过光伏设备成为公司第一大收入来源，预计 2026-2028 年收入 15.86/25.37/34.25 亿元（同比+80%/+60%/+35%）

• 可转债“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”建成后将新增 50 台套/年薄膜沉积设备产能，技术路线由 ALD 拓展至 ALD+CVD

• 毛利率修复路径：半导体设备毛利率预计 2026-2028 年分别为 25%/30%/35%，综合毛利率预计 26/27/28 分别为 33%/34%/37%

• 盈利预测：2026-2028 年归母净利润 3.69/5.13/6.94 亿元（+68%/+39%/+35%），对应 PE 140.8/101.3/74.9 倍

• 新工艺验证节点：IGZO 处于客户测试阶段，FeRAM 正在客户产线进行量产验证

• 下游扩产验证节点：长江存储三期工厂预计 2026 年内底投产（2027 年实现月产能 5 万片），华虹 Fab9B 预计 2027Q1 建成完整产线并开始小规模产出

• 风险提示：下游资本开支波动风险；新产品验证及产业化不及预期风险；市场竞争加剧风险；技术迭代不及预期风险；设备验收及收入确认风险；产能建设及交付能力不及预期风险

推荐标的

• 微导纳米（688147.SH）：评级“增持（维持）”，当前股价 111.97 元（报告未列目标价）。理由：公司是国内较早实现 ALD 设备规模化产业应用的厂商，半导体 ALD 已在 High-k、金属化合物、掩膜及介质层等关键工艺实现导入并持续向 CVD 延伸；预计 2026-2028 年归母净利润 3.69/5.13/6.94 亿元，对应 PE 140.8/101.3/74.9 倍