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东吴证券 半导体设备行业深度报告:海外半导体设备龙头订单&业绩持续新高,看好国产设备商投资机遇

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摘要

东吴证券半导体设备深度报告核心观点是AI发展拉动存储与先进逻辑需求,海外Fab厂加速扩产,全球2026年WFE销售额预测上调至1439亿美元,预计2027、2028年分别增长21.8%/14.1%至1753/2000亿美元。 海外设备龙头业绩持续新高:ASML FY26Q2营收93.3亿欧元同比+21.3%并将全年收入指引上调至430-450亿欧元,Lam FY26Q4营收67.22亿美元创新高,TEL FY27Q1营收7324亿日元创新高,泰瑞达26H1营收同比+95%,爱德万、DISCO同样受益AI测试需求。 国内方面,中国大陆晶圆产能2024年占全球22%,低于销售额占比30%,中芯国际2026年资本开支预计约81亿美元维持高位,长鑫存储DRAM市占率2025年提升至约8%,国产替代空间广阔。 海外设备供需趋紧向价格和交期传导,ASML部分中国客户已接受老款DUV设备约10%提价,KLA交期约12个月、部分产品18-24个月,为国产设备和零部件出海创造窗口。 报告重点推荐北方华创、中微公司、长川科技等国产设备厂商,并建议关注AMAT、ASML、TEL等海外龙头。

主要观点

  • AI拉动存储与先进逻辑需求,SEMI将2026年全球WFE销售额预测上调至1439亿美元,预计2027、2028年分别增长21.8%/14.1%至1753/2000亿美元,增长动能主要来自人工智能相关投资。
  • 三星与SK海力士2026年资本开支指引分别提升至70万亿韩元和40万亿韩元,同比大增34%和40%;两家厂商预计2030年前DRAM产能接近翻倍,投产后理论产能分别达135万片/月和100万片/月。
  • 美光FY2026资本开支预计达270亿美元、FY2027指引约450亿美元(同比+70%/67%);铠侠FY2026资本开支指引4500亿日元同比+60%;闪迪与铠侠的NAND联盟当前财年拟投入共45亿美元资本开支,同比增长41%。
  • 台积电2026年资本开支由Q1法说会的520-560亿美元进一步上调至600-640亿美元,中值620亿美元对应同比增长52%;英特尔2026Q2将全年资本开支指引上调至200亿美元以上,并称2027年指引将大幅提升。
  • ASML FY26Q2营收93.3亿欧元同比+21.3%超出指引上限,并将FY26全年收入指引上调至430-450亿欧元(中值同比+34.7%),毛利率指引上调至54%-56%;存储端收入同比+83.5%。
  • ASML计划将Low-NA EUV产能由2026年约65台提升至2027年约85台、2028年约110台,浸没式DUV由2026年约130台增至2027年约169台、2028年约220台,反映长期订单能见度提升。
  • Lam Research FY26Q4营收67.22亿美元同比+30%创新高,FY26全年营收232.3亿美元同比+26%、净利润72.7亿美元同比+36%,并连续两个季度上调2026年WFE预测至1500亿美元。
  • TEL FY27Q1营收7324亿日元同比+33.3%创历史新高,净利1643亿日元同比+39.5%;TEL预测2026年WFE达1500亿美元、2027年增长至1900亿美元,并预计2027年AI数据中心半导体设备需求占比将超50%。
  • KLA FY26营收135.8亿美元同比+12%、净利48.3亿美元,FY27Q1指引营收38-42亿美元;预计CY2030年收入达235-285亿美元(CAGR 13%-17%),2024年全球量检测设备市占率达56.5%。
  • 爱德万预计CY26全球测试机市场规模130-145亿美元,其中SoC测试机105-115亿美元;CY25 SoC测试机市占率66%、目标提升至70%,SoC测试机年产能将由2020年约1000台扩至2028年末至2029年初的10000台以上。
  • 泰瑞达26H1营收26.11亿美元同比+95%,SoC测试机同比+112.3%、存储测试机同比+247.5%;公司预计26年全球存储测试机市场同比增长超40%达18.8亿美元以上,存储测试高景气有望延续至2027年。
  • DISCO FY26Q1营收1143.1亿日元同比+27%、净利342.8亿日元同比+44%;2026年全球先进封装市场规模预计达587亿美元同比约+97%,DISCO在W2W、D2W先进封装工艺中覆盖多个切磨抛步骤。
  • 中国大陆晶圆产能全球占比2024年达22%,仍低于同期中国大陆半导体销售额全球占比30%;台积电25Q2月产能127.9万片远超中芯国际26.5万片和三星34.4万片,国内厂商对标台积电扩产空间广阔。
  • 中芯国际2025年资本开支81亿美元同比+11%,2026年预计与2025年基本持平约81亿美元;产能利用率2025Q3升至95.8%高点、2026Q1为93.1%。
  • 长鑫存储DRAM全球市占率由2024年约5%提升至2025年约8%;长江存储NAND市占率同样由约5%提升至约8%,国产存储扩产空间广阔。
  • 海外设备供需趋紧向价格和交期传导:ASML部分中国客户已接受老款DUV设备约10%提价,KLA整体交货周期12个月、部分产品18-24个月,爱德万客户需求可视期由约6个月延长至18个月。
  • 国产设备厂商进入集中扩产周期:拓荆科技完全达产后理论总产能约1100台/年(2.2倍),盛美上海A+B厂全面运行后产值约200亿元(翻倍),中微公司到2031年左右整体生产能力将超过700亿元。
  • 国产零部件已切入海外供应链:新莱应材2025年海外收入7.53亿元占比25.12%,富创精密2024年海外收入约8.97亿元占比29.50%,有望伴随海外设备扩产提升全球份额。

论述逻辑

  • AI驱动存储与先进逻辑需求 → 三星、SK海力士、美光、台积电、英特尔等海外Fab厂大幅上调资本开支并扩产 → 下游扩产兑现至设备端,ASML、Lam、TEL、KLA等前道龙头收入盈利创新高并连续上修WFE规模与全年指引,泰瑞达、爱德万、DISCO后道测试受益AI GPU/ASIC及HBM测试需求 → 海外设备龙头扩产周期2-3年、供给释放偏慢,供需趋紧传导至涨价(DUV提价约10%)与交期延长(KLA 12个月起、部分18-24个月)→ 中国大陆晶圆产能占比22%低于销售额占比30%,自主可控驱动逆周期扩产,中芯国际资本开支维持约81亿美元高位,长存长鑫市占率提升空间广阔 → 国产设备厂商集中扩产(拓荆、盛美、中微等)叠加零部件已切入海外供应链,国产设备与零部件凭借交付、本地化服务和性价比优势迎国产替代与出海双重机遇 → 重点推荐国产前后道设备+零部件厂商,建议关注海外设备龙头。

关键展望

  • SEMI预计全球WFE销售额2027年增长21.8%至1753亿美元、2028年增长14.1%至2000亿美元;TEL预测2026年1500亿美元、2027年1900亿美元,并预计2027年AI数据中心设备需求占比超50%。
  • ASML 2028年Low-NA EUV潜在产能约110台、浸没式DUV约220台,且2027年订单接近全部覆盖产能、2028年已收到大量订单;KLA交期已指向2027H2交付,验证需求中长期可见度。
  • KLA预计FY2027Q1存储端DRAM占比达90%,并给出CY2030年收入235-285亿美元目标;泰瑞达管理层预计27年营收加速增长,存储测试景气有望延续至2027年。
  • 国产设备产能扩张目标明确:拓荆科技2032年完全达产理论总产能约1100台/年,盛美上海B厂计划2026H2投产,华海清科上海基地预计2028年建成,微导纳米项目预计2028年达产,中微公司2031年左右生产能力超700亿元。
  • 风险提示:半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期、技术迭代及工艺路线变化风险。

推荐标的

  • 重点推荐前道设备:北方华创、中微公司、迈为股份、芯源微、屹唐股份、中科飞测、精测电子、天准科技、拓荆科技、微导纳米、先导基电、华海清科、盛美上海、晶盛机电。
  • 重点推荐后道设备:长川科技、华峰测控;建议关注后道设备:联讯仪器、精智达、联动科技。
  • 推荐材料和零部件环节:富创精密、新莱应材、英杰电气、汉钟精机、晶盛机电;两者海外收入占比分别达25.12%(新莱应材2025年)和29.50%(富创精密2024年),具备出海基础。
  • 建议关注海外前道设备商AMAT、ASML、TEL、Lam Research、KLA及后道DISCO、泰瑞达、爱德万测试;截至2026.8.21,2026E市盈率分别约37/55/34/45/51倍(AMAT/ASML/TEL/Lam/KLA),2027E约29/40/29/36/42倍。

关键图表

图1. 1.1 AI发展带动存储&先进逻辑需求,海外Fab厂加速扩产

**图1. 1.1 AI发展带动存储&先进逻辑需求,海外Fab厂加速扩产**

图2. ASML:产品结构与规模效应优化,盈利能力持续提升

**图2. ASML:产品结构与规模效应优化,盈利能力持续提升**

图3. Lam:下一代制程核心工艺的卡位,业绩增加将超过

**图3. Lam:下一代制程核心工艺的卡位,业绩增加将超过**

图4. KLA:利润率中枢处行业高位,研发投入持续稳定

**图4. KLA:利润率中枢处行业高位,研发投入持续稳定**

图5. 爱德万:SoC测试机份额目标提升至70%,产能扩张支撑长期成长

**图5. 爱德万:SoC测试机份额目标提升至70%,产能扩张支撑长期成长**

图6. BRIA:围绕AI数据中心拓展业务边界,构建全链条测试与自动化

**图6. BRIA:围绕AI数据中心拓展业务边界,构建全链条测试与自动化**

图8. 5.2 投资建议

**图8. 5.2 投资建议**

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