摩根士丹利 高 NA 光刻规模化落地与大掩膜转型进程提速260909

摘要

摩根士丹利发布日本半导体生产设备行业更新（2026年9月9日），维持行业观点“具吸引力（Attractive）”。 三星宣布扩大与ASML的合作，明确计划到2028年将High-NA EUV引入DRAM量产，并称这将是业界首次把HNA EUV用于DRAM批量生产；台积电宣布计划于2030年在量产中采用HNA EUV，此前其曾表示在2029年前的A13/A12世代暂缓导入，最新表态令导入时点更加清晰。 大掩膜转型同步提速：ASML与台积电宣布启动6x12英寸大掩膜联合计划，三星确认参与，目标2031年建立中试线、2033年具备量产条件；尽管大掩膜最初由英特尔牵头，三家尖端逻辑/代工大厂已开始在这一转型上趋于一致。 摩根士丹利认为HNA导入是掩膜相关设备的顺风，预计检测端转向Lasertec的A300、掩膜写入端转向IMS/JEOL的MBMW-401等HNA兼容设备；大掩膜需要新的掩膜制造基础设施，将为更广泛的掩膜设备领域提供额外顺风。 鉴于落地时间较远、且团队假设相关进展此前已与设备供应商讨论过，报告认为这些公告不会影响Lasertec本财年的订单指引。

主要观点

• 三星宣布扩大与ASML的合作，明确计划到2028年将High-NA EUV引入DRAM量产，并预计这将标志业界首次将HNA EUV用于DRAM批量生产

• 台积电宣布计划于2030年在量产中采用HNA EUV；此前其曾表示在2029年前的A13/A12世代暂缓导入，最新公告使HNA导入时点更加清晰

• ASML与台积电宣布启动引入6x12英寸大掩膜的联合计划，三星确认参与

• 大掩膜计划目标2031年建立中试线、2033年具备量产条件；尽管英特尔最早牵头推动大掩膜，三大尖端逻辑/代工厂商已开始在这一转型上趋于一致

• 摩根士丹利视HNA导入为掩膜相关设备的顺风：预计检测端将转向Lasertec的A300、掩膜写入端将转向IMS/JEOL的MBMW-401等HNA兼容设备

• 大掩膜导入需要新的掩膜制造基础设施，将为更广泛的掩膜设备领域提供额外顺风

• 鉴于落地时间较远、且团队假设相关进展此前已与设备供应商讨论过，报告不认为这些公告会影响Lasertec本财年的订单指引

• 报告维持日本半导体生产设备行业观点为Attractive（具吸引力）

• ASML由Lee Simpson覆盖，三星电子由Shawn Kim覆盖，台积电由Charlie Chan覆盖，英特尔由Joseph Moore覆盖；本报告分析师为Suzune Tamura与Kazuo Yoshikawa

论述逻辑

• 三星2028年DRAM量产导入HNA EUV + 台积电2030年量产采用 → HNA从评估阶段走向量产采用

• HNA量产采用要求检测与掩膜写入设备具备HNA兼容能力 → 预期转向Lasertec A300（检测）与IMS/JEOL MBMW-401（掩膜写入）→ 掩膜相关设备迎来顺风

• ASML与台积电联合推进6x12英寸大掩膜 + 三星确认参与 → 三大尖端逻辑/代工厂商在转型上趋于一致 → 需要新的掩膜制造基础设施 → 更广泛掩膜设备领域获得额外顺风

• 落地时间较远（2031年中试线、2033年量产就绪）且假设已与设备商提前讨论 → 不影响Lasertec本财年订单指引 → 行业观点维持Attractive

关键展望

• 到2028年：三星计划将HNA EUV引入DRAM量产，预计为业界首次用于DRAM批量生产

• 2030年：台积电计划在量产中采用HNA EUV

• 2031年：大掩膜计划目标建立中试线；2033年：具备量产条件

• Lasertec本财年订单指引不受这些公告影响

• 未来12-18个月日本半导体生产设备行业覆盖组合表现预计优于相关大盘基准（行业观点Attractive）

推荐标的

• 行业观点：日本半导体生产设备 Attractive（具吸引力）

• Advantest（6857.T）：评级O（2024/01/17起），股价¥33,800（2026/09/08）

• DISCO（6146.T）：评级O（2023/07/07起），股价¥53,890（2026/09/08）

• Ebara（6361.T）：评级O（2024/12/04起），股价¥4,397（2026/09/08）

• JEOL（6951.T）：评级E（2025/07/08起），股价¥6,829（2026/09/08）；报告提到掩膜写入端HNA兼容设备MBMW-401来自IMS/JEOL

• KOKUSAI ELECTRIC（6525.T）：评级O（2025/12/19起），股价¥8,782（2026/09/08）

• Lasertec（6920.T）：评级U（2025/07/28起），股价¥34,910（2026/09/08）；报告指出其A300为HNA兼容检测设备，且公告不影响其本财年订单指引

• Nikon（7731.T）：评级U（2023/08/08起），股价¥1,816（2026/09/08）

• SCREEN Holdings（7735.T）：评级O（2025/11/13起），股价¥13,270（2026/09/08）

• Tekscend Photomask（429A.T）：评级E（2025/11/18起），股价¥3,755（2026/09/08）

• Tokyo Electron（8035.T）：评级O（2025/12/19起），股价¥54,000（2026/09/08）

• Ulvac（6728.T）：评级E（2024/01/17起），股价¥7,030（2026/09/08）

• Ushio（6925.T）：评级O（2026/01/05起），股价¥3,623（2026/09/08）

• 事件相关公司中，ASML由Lee Simpson、三星电子由Shawn Kim、台积电由Charlie Chan、英特尔由Joseph Moore覆盖，本报告未对上述公司给出评级或目标价